電子工業(yè)生產(chǎn)線上的靜電及其危害
1.靜電感應(yīng)的危害
受靜電感應(yīng)的物體與帶電體完全等價(jià),并有靜電力學(xué)現(xiàn)象和放電現(xiàn)象的發(fā)生,如果感應(yīng)物體的電阻是較小良導(dǎo)體時(shí),還會發(fā)生火花放電而造成危害。
A、生產(chǎn)操作的車間里。
高電壓設(shè)備、線路附近,人員在操作焊接、擺弄MOS器件或MOSIC時(shí),由于靜電感應(yīng),極易引起人體對器件的靜電放電,從而損壞器件。
B、管道輸送的空調(diào)氣流(離子流),對人體吹風(fēng)時(shí)相當(dāng)于充電,當(dāng)帶電人體接觸敏感器件,靜電放電會擊穿損壞器件。
2.半導(dǎo)體和IC生產(chǎn)線上的靜電及其危害
?、俅┲猃堃隆⑺苣z基底鞋緩慢在清潔地板上走動(dòng),人身會帶7KV-8KV電壓
?、诓AЮw維制成的晶體載料盒滑過聚丙烯桌面時(shí),易產(chǎn)生10KV靜電。
?、劬b配線:晶片5KV,晶片裝料盒35KV,工作服10KV,桌面10KV,有機(jī)玻璃蓋8KV,石英晶體1.5KV,晶片托盤6KV
④光刻間塑料地面500V-1000V,金屬網(wǎng)格地面也是500V-1000V,擴(kuò)散間塑料地面500V-1500V瓷磚地面也是500V-1500V,塑料墻面約700V,塑料頂棚0-1000V,鋁板送風(fēng)口,回風(fēng)口500V-1000V,金屬活動(dòng)皮革椅面500V-3000V
3.半導(dǎo)體和IC生產(chǎn)線上的靜電危害
?、凫o電庫侖力的危害:靜電庫侖國作用下吸附的粉塵、污物,可能帶給元器件,從而增大泄露或造成短路,使性能受損,成品率大大下降。如粉塵粒徑〉100微米,鋁線寬度約100微米,薄膜厚度在50微米以下時(shí),最易使產(chǎn)品報(bào)廢,這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中
?、陟o電放電引起的危害:如有數(shù)千、數(shù)萬伏的高電位物體發(fā)生脈沖刷形放電或火花放電時(shí),瞬間會有很高的放電電流流向大地時(shí),形成脈沖狀的電流峰位在20A,造成可觀的影響,靜電放電(ESD)還伴隨著電磁波發(fā)射,會引起種種危害。
A、MOSIC等半導(dǎo)體器件將被靜電放電(ESD)擊穿或半擊穿。MOS場效應(yīng)管其柵極是從氧化膜引出,柵極與襯底間是隔著一層氧化膜,當(dāng)柵極與襯底間的電壓超過一定值,氧化膜便被擊穿,如果MOSIC,則全部報(bào)廢了當(dāng)施加電壓于天UB=50-100V,氧化膜便會被擊穿,因?yàn)闁艠O電容很小(約幾個(gè)微微法),輸入阻搞很高(約1014Ω以上),這樣,少量的電荷就會產(chǎn)生很高電壓,電荷也很難匯漏,只要大于50V(無保護(hù))就會燒毀,所以,只要人手一摸柵極,元件就壞了,因?yàn)槿藥щ姵^50V是平常事。
我們可以了解到集成電路對靜電敏感性,各種芯片不同之處在于所能承受的耐靜電壓值不同。實(shí)際工用條件中,幾乎20V的靜電壓直接接觸器件就足以毀壞或降低性能。
B、組裝中要損壞元器件,或造成電子儀器設(shè)備故障或誤動(dòng)作。
靜電放電損壞元器件使整塊印刷電路板失去作用,造成經(jīng)濟(jì)損失;
靜電放電的噪聲引起機(jī)器設(shè)備的誤動(dòng)作或故障一間接放電影響,電容放電測得結(jié)果,除產(chǎn)生瞬間脈沖大電流外,還會產(chǎn)生跨越數(shù)兆赫茲,甚至數(shù)百赫茲的強(qiáng)大噪聲。近年來,靜電放電噪聲引起計(jì)算機(jī)誤動(dòng)作的基礎(chǔ)研究取得很大進(jìn)展。
放電時(shí)產(chǎn)生的電磁波進(jìn)入接收機(jī)后,會產(chǎn)生雜音,干擾信號從而降低信息質(zhì)量,或引起信息誤碼。
4.對電子設(shè)備生產(chǎn)過程的靜電危害
整機(jī)生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)都會遭遇靜電破壞。主要環(huán)節(jié)包括:器件的采購運(yùn)輸;器件進(jìn)廠檢驗(yàn)、驗(yàn)收;器件儲存、領(lǐng)料;器件插裝、焊接;產(chǎn)品組裝、檢驗(yàn);產(chǎn)品包裝,發(fā)貨。
除電子元件、電子設(shè)備生產(chǎn)過程中受到靜電破壞外,就是在產(chǎn)品使用過程中,也會受到靜電的危害。歸納起來,靜電引起的危害足以造成電子器件和電子設(shè)備性能失調(diào),其對電子器件、設(shè)備危害的狀況不容忽視。
消除靜電相關(guān)產(chǎn)品:超聲波加濕器